一、臺式勻膠機旋涂儀產品簡介

WH-SC-01勻膠機適用于半導體工藝，制版及表面涂覆等工藝，可在科研、教育等單位作科研、教學之用。其總體設計由蘇州汶顥微流控技術股份有限公司獨立開發完成，具有獨立知識產權。

勻膠機快速啟動和穩定的轉速，能夠保證膠厚度的一致性和均勻性。采用全觸摸屏控制，三檔轉速。在啟動之后先在低速下進行勻膠，之后切換至高速下進行甩膠，轉速及相應的時間分別可調；實現啟停可控，轉速實時觀察等功能。儀器配置“安全開關”按鈕，當進行高速運轉時，關上上蓋后，“安全開關”啟動，運行過程中，上蓋不能打開?？梢云鸬奖Ｗo作用。

汶顥股份勻膠機適應于半導體硅片，載玻片，晶片，基片，ITO導電玻璃等工藝，制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點，并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。勻膠機通常配無油真空泵一起使用。

勻膠機是一種常見用于材料薄膜制備工藝的實驗室設備，它的原理相對比較簡單，利用電機高速旋轉時所產生的離心力使得試液或者膠液均勻地涂敷在基底材料的表面，顧名思義，一種可以“讓膠液均勻涂敷的機器”。

勻膠機英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱：旋涂儀、旋涂機、甩膠機、勻膠臺、旋轉涂膠機、旋轉涂膜機、旋轉涂層機、旋轉涂布機、旋轉薄膜機、旋轉涂覆儀、旋轉涂膜儀、勻膜機。

勻膠機既然是科研開發上制備薄膜材料必備的方法之一，使用者對于該設備最大的期待就在于其能夠“均勻”地涂敷試液或者膠液。通常我們會用均一性和可重復性來衡量薄膜材料制備的好壞。

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二、臺式勻膠機旋涂儀技術參數

1.轉速：硅片4英寸（含）以內300-8500RPM；4-6英寸（含）以內300-6000RPM；

2.時間控制：1-32767s；

3.轉速穩定性：±1%；

4.膠的均勻性：±3%；

5.參數設定：觸摸屏設置參數；

6.適用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等勻膠；

7.電源輸入：AC220V±10V，50HZ；

8.功率：60W；

9.重量：13kg；

10.外形尺寸：300（W）*227（H）*350（D）；

11.工作環境：溫度0℃-40 ℃，相對濕度＜80 %。

12.標配4英寸吸盤，可選直徑8mm、1英寸、2英寸、3英寸、5英寸、6英寸吸附托盤。

三、臺式勻膠機旋涂儀特征圖解

①防撞墊②勻膠托盤③觸摸屏④專用吸附盤⑤觀察窗⑥蓋板 ⑦抽氣孔⑧電源插口及開關

四、臺式勻膠機旋涂儀操作說明

（1）選擇合適的專用吸附盤（略小于樣本尺寸），將缺口對準螺釘安裝，吸附盤安裝時一定要插入到底。

（2）開啟電源，進入參數設置頁面?？煞謩e設置三個階段轉速和時間，按工藝設置好轉速和時間，點擊“確定”。

（3）進入啟動儀器界面，放片，要注意放正。打開真空泵，點擊“吸盤”后點“啟動”，儀器開始運行。轉速和運行階段以及當前階段剩余時間可在顯示屏上實時觀察。

（4）滴膠，動作要快。在第一階段運轉時間內滴膠完畢，關上上蓋；隨時間推移自動運行第二和第三階段。關上上蓋后，安全開關啟動，必須等到儀器停止運行，上蓋才能被打開。

（5）電機停轉后，點擊脫盤，吸片停止。打開上蓋，取下片子。

（6）繼續勻膠時重復以上步驟。

（8）勻膠結束后，關上上蓋，切斷電源。

五、臺式勻膠機旋涂儀維護清洗

屬下列情況之一時，需要對抽氣室進行清洗

1.正常使用半個月的；

2.膠被吸入抽氣室的；

3.電機轉速不穩定或被卡住轉不動的。

六、臺式勻膠機旋涂儀常見故障排除

下列故障非本機故障，用戶可參考自行解決，若仍不能排除故障，請及時撥打本公司服務熱線：0512-62525801，本公司將竭誠為廣大用戶服務。

七、臺式勻膠機旋涂儀安全注意事項

拆開包裝后，請按照裝箱單詳細檢查配件，如有缺失，請聯系銷售商。注意必須將所有包裝和泡沫墊卸下，否則有可能因熱量不易散發或受到其它外界因素的影響引起火災。

操作前請詳細閱讀本說明全部內容，并嚴格按照要求依次進行操作。若用戶因不規范操作或違規操作而導致的人身傷害事故、儀器損害、財產損失，制造商將不予承擔。

(1) 安置本儀器的桌（臺）面應堅實平整，四只橡膠腳墊應與桌（臺）面平穩接觸，否則會產生儀器不平穩，從而導致超標準的震動，致使器件損傷或儀器停止運行。

(2) 儀器工作時，操作人員不得倚靠在儀器上，非工作人員不得在非安全空間內逗留，勻膠機周圍不得放置危險物品。

(3) 所甩樣片的尺寸要大于吸附盤有效尺寸2-3mm左右，如果用大吸附盤甩小的樣片就會產生漏氣，同時造成膠被吸入抽氣室，導致氣路堵塞。

(4) 如果不慎膠被吸入了抽氣室，要立刻進行清洗，否則吸附盤、光電盤、電機軸會黏在一起，造成電機轉不動，拆卸亦很困難。

(5) 氣路堵塞或氣泵損壞時電機也可運轉產生飛片，故在啟動電機前須確認氣泵的狀況良好及吸片確已吸住。

(6) 儀器出現故障應及時與銷售商或廠家聯系，切勿自行打開機殼。嚴禁非專業人員維修，維修時必須先拔下電源插頭，防止事故發生。

國產臺式旋涂機/勻膠機轉速準確性測試數據表：

八、臺式勻膠機旋涂儀裝箱清單

無油真空泵技術參數無油真空泵：又稱干式真空泵，是泵的工作腔內沒有任何介質，可以原汁原味的回收氣體。

? 型號：AP-550V 

? 抽速：1.5 升/秒 

? 功率：320W 

? 噪音：58db 

? 電壓、頻率：~220V/50HZ 

? 最低真空度：-700mmHg 

? 重量：5.8kg 

? 外形尺寸：240×130×200mm

九、臺式勻膠機旋涂儀視頻指導