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WH-HP-02 多溫區(qū)烘膠臺(tái) -
WH-HP-02 多溫區(qū)烘膠臺(tái)
- 型號(hào)WH-HP-02 多溫區(qū)烘膠設(shè)備
- 模式烘膠,烤膠
多溫區(qū)烘膠臺(tái)/烤膠機(jī)/熱板具有3個(gè)溫控區(qū)域可分別設(shè)定與調(diào)整不同的溫度，可同時(shí)/單獨(dú)工作。最大烘膠溫度300度，直徑210mm
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
多溫區(qū)烘膠臺(tái)（WH-HP-02）是汶顥股份自主開(kāi)發(fā)的具有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)的一款產(chǎn)品，可以用于光刻工藝中烘膠工藝，包括前烘、中烘和后烘，并具有分段式程控升溫。該設(shè)備采用PID控溫系統(tǒng)自動(dòng)測(cè)溫控溫，升溫速度快、溫度均勻、控溫精度高等特點(diǎn)，可長(zhǎng)時(shí)間持續(xù)穩(wěn)定工作。此外，此儀器最大特點(diǎn)是具有3個(gè)溫控區(qū)域，可分別設(shè)定與調(diào)整不同的溫度，可同時(shí)/單獨(dú)工作，克服了常規(guī)烘膠臺(tái)只有一個(gè)溫控區(qū)域，需要多個(gè)溫度控制時(shí)必須來(lái)回切換升溫/降溫的缺點(diǎn)，極大提高了烘膠效率，以及烘膠過(guò)程的溫度一致性。
WH-HP-02是一款緊湊且易于使用的光刻熱板。它用于光刻工藝的預(yù)烘烤，后烘烤和硬烘烤。該產(chǎn)品具有較高的烘烤速度，均勻性，較高的溫度控制精度和高度可重復(fù)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。烘烤控制設(shè)計(jì)用于預(yù)烘烤，后烘烤和硬烘烤，以進(jìn)行光蝕刻過(guò)程。WH-HP-02熱板與KW-4A旋涂機(jī)或WH-SC-01旋涂機(jī)一起使用，是在硅片或其他基板上制造金屬氧化物薄膜、聚合物涂層和金屬有機(jī)薄膜的理想工具。
與傳統(tǒng)烘箱相比，使用加熱板固化薄膜將減少烘烤時(shí)間，提高可重復(fù)性，并獲得更均勻和更好的薄膜質(zhì)量。這是因?yàn)閃H-HP-01在整個(gè)基材上具有均勻的溫度曲線(xiàn)，并為薄膜和涂層提供均勻的加熱。因?yàn)楸∧?涂層是從下往上加熱的，所以可以避免皮膚效應(yīng)。
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多溫區(qū)烘膠臺(tái)（熱板、烤膠機(jī)）技術(shù)參數(shù)：
WH-HP-02多溫區(qū)烘膠臺(tái)（7寸） | WH-HP-03多溫區(qū)烘膠臺(tái)（5寸） |
烘膠溫度：室溫～300℃ 持續(xù)烘膠時(shí)間：～15min以?xún)?nèi)為宜 控溫精度：±1℃ 溫度均勻性：＜±5% 烘膠板規(guī)格：φ210 mm 參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù) 控溫形式：PID控溫系統(tǒng) 電源輸入：AC220V±10V/50HZ 功率：2.5 KW 重量：40 kg 外形尺寸：580（W）*706（D）*187（H）mm | 烘膠溫度：室溫～300℃ 持續(xù)烘膠時(shí)間：～15min以?xún)?nèi)為宜 控溫精度：±1℃ 溫度均勻性：＜±5% 烘膠板規(guī)格：φ130mm 參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù) 控溫形式：PID控溫系統(tǒng) 電源輸入：AC220V±10V/50HZ 功率：1.5 KW 重量：21kg 外形尺寸：480（W）*580（D）*200（H）mm |
特征圖解
操作界面
多溫區(qū)烘膠臺(tái)/熱板溫度測(cè)試數(shù)據(jù)表：
烘臺(tái)位置 | 設(shè)置溫度（℃） | 顯示溫度（℃） | 中心（℃） | 偏中心（℃） | 邊緣（℃） | 均一性% |
左烘臺(tái) | 65 | 64.8~65.2 | 66 | 63 | 65 | 4.5% |
100 | 99.7~100.2 | 106 | 101 | 105 | 4.7% | |
150 | 149.5~150.4 | 154 | 147 | 152 | 4.5% | |
200 | 199.6~200.4 | 214 | 195 | 213 | 8.9% | |
250 | 249.4~250.4 | 268 | 248 | 265 | 7.5% | |
280 | 279.6~280.5 | 307 | 280 | 302 | 8.8% | |
右烘臺(tái) | 65 | 64.8~65.3 | 66 | 65 | 67 | 2.99% |
100 | 99.7~100.5 | 105 | 102 | 104 | 2.9% | |
150 | 149.4~150.7 | 157 | 151 | 155 | 3.8% | |
200 | 199.4~200.4 | 215 | 200 | 208 | 7.0% | |
250 | 248.6~250.8 | 270 | 249 | 265 | 7.8% | |
280 | 279.0~280.9 | 309 | 281 | 298 | 9.1% | |
前烘臺(tái) | 65 | 64.9~65.4 | 66 | 63 | 65 | 4.5% |
100 | 99.8~100.4 | 106 | 101 | 105 | 4.7% | |
150 | 149.7~150.3 | 154 | 146 | 154 | 5.2% | |
200 | 199.8~200.5 | 210 | 194 | 207 | 7.6% | |
250 | 249.7~251.2 | 280 | 253 | 266 | 9.6% | |
280 | 279.8~281.2 | 317 | 283 | 289 | 10.7% | |
測(cè)試結(jié)論 | 溫度范圍：室溫~300℃；控溫精度≤±1℃；實(shí)際溫度偏差范圍±5℃；溫度均一性:室溫~150℃溫度均一性范圍≤±5%，＞150℃溫度均一性范圍>±5%。 | |||||
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標(biāo)簽: 烘膠
