1. 產(chǎn)品簡(jiǎn)介

顯影清洗一體機(jī)（WH-XQY-01）是汶顥股份自主開(kāi)發(fā)的具有獨(dú)立知識(shí)產(chǎn)權(quán)的一款產(chǎn)品，針對(duì)光刻工藝中的顯影與清洗過(guò)程而設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的，可以進(jìn)行程控式自動(dòng)化顯影與清洗。該設(shè)備可完全替代微流控芯片制作過(guò)程中的手動(dòng)顯影與清洗環(huán)節(jié)，克服了手動(dòng)顯影過(guò)程中的顯影液加入量不可控、硅片顯影時(shí)間不可控、同規(guī)格硅片間隔顯影效果不可控等缺點(diǎn)，最大程度上減少操作人員人為因素導(dǎo)致的顯影質(zhì)量問(wèn)題以及硅片的損壞。

2. 技術(shù)參數(shù)

轉(zhuǎn)速：0～3000 rpm

顯影液量控制：10～450 mL

清洗時(shí)間控制：0～999 s

適配硅片/芯片：≤7英寸

顯影時(shí)間控制：1～900 s

進(jìn)液速度： 30～100%

電源輸入：AC220V±10V/50HZ

功率：250W

重量：20 kg

外形尺寸：510（W）* 450（D）* 350（H）mm

工作環(huán)境：溫度0℃-40 ℃，相對(duì)濕度＜80 %

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3. 特征圖解

4.裝箱清單

4.噴淋顯影清洗一體機(jī)使用視頻教程

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