• 28nm節(jié)點(diǎn)浸沒式光刻機(jī)核心部件之一浸液系統(tǒng)入駐杭州青山湖科技城制造、芯片研制出產(chǎn)兩大集成電路工業(yè)項(xiàng)目龍頭。浸液體系背景：浸液體系是浸沒式光刻機(jī)四大核心部件之一，是光刻機(jī)打破干式曝光物理極限向更小技能節(jié)點(diǎn)開展的標(biāo)...2017-08-08 16:38:10
• 一文看懂光刻機(jī)小分辨率將得到提升，這就是浸沒式光刻系統(tǒng)的原理。?ASML 率先推出浸沒式光刻機(jī)，奠定自身市場(chǎng)地位。林本堅(jiān)提出浸沒式光刻設(shè)想后， ASML開始與臺(tái)積...2018-05-16 08:59:54