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• 投影式光刻機 Projection Photoetching Machines間，從而提高光刻機的產(chǎn)能。（d）掩模狹縫投影成像原理圖1 步進(jìn)-掃描式光刻機曝光方式示意圖曝光掃描結(jié)束后，曝光系統(tǒng)步進(jìn)式移動到下一個位置。圖1（c）是...2017-12-29 09:04:54
• 光刻機三種曝光方式優(yōu)缺點對比接觸式曝光接觸式曝光是將掩膜與待加工基片的光膠層直接接觸進(jìn)行的曝光。掩膜和基片通過機械裝置壓緊或通過真空吸住等方法實現(xiàn)兩者緊密接觸。優(yōu)點：設(shè)備簡單、造...2017-10-25 09:49:06