1 基本結構

微反應器在結構上通常采取分層結構，先以亞單元構成單元，再以單元構成較大單元，等等。

這一特性有別于傳統化工裝置，它便于微反應器方便地擴展生產規模，以“數增放”的方式(而非傳統的規模放大)。微細結構以不同的方式排列(多為交叉形式)，加上周遭的進出口，構成微部件；微部件與管道連接，再加上支撐部分，構成微單元；微單元常采用堆疊形式，特別是在氣相反應器中，當用器室將微單元封閉起來時，構成微裝置，是微反應系統中可獨立操作的最小單元，有時，在密閉器室中會有幾種不同的微單元，從而形成一種復合微裝置；如果將微單元串聯、并聯或混聯，則構成微系統。

微型反應器的制作是在進行工藝計算、結構設計、強度校核后，選擇合適的材料和加工方法制成微結構、微部件，然后選擇合適的聯接方式，將其組裝成微單元和微型器件，最后通過試驗驗證其效果，如果達不到預期要求，則重新進行。

2常用材料

材質的選擇依賴于介質和條件等因素，例如介質的腐蝕性能、工作溫度、工作壓力等，并且由于對不同材料的加工方法不同，會影響加工方法的選擇。另外，加工方法反過來又影響到材料的選擇，例如，由于精度或安全要求而必須采用某種加工方法時，必須使用與這種處理方法相適應的材料。

硅類材料在微反應器中被廣泛應用。最重要的是，硅具有與鋼幾乎相同的優異的機械和物理性能，這能使硅更好地保持載荷-變形之間的線性關系；硅密度約為2.3g/cm3，與鋁一樣輕；硅的熱膨脹系數非常小，僅為鋁的十分之一；單晶硅可以達到7.0GPa，比不銹鋼大三倍；硅具有各向異性，便于選擇性腐蝕。

硅片是半導體器件制造中最常用的材料，其機電一體化特性和優良的傳感特性(如光電效應、壓阻效應、霍爾效應等)，使其在MEMS中被廣泛應用于制造各種微傳感器、微閥、微馬達、微型齒輪等。但由于大多數力學模型都是以各向同性假設為基礎的，其脆性對其不利，其各向異性將使力學分析變得困難。在微型反應器中，不銹鋼、玻璃、陶瓷也經常使用。

不銹鋼常用于某些放熱的多相催化微反應器中，對于某些尺寸稍大的反應器也可采用不銹鋼制造，因此加工方便，成本低，且易于與外部連接。此外不銹鋼具有較好的延展性，因此成為反應器、熱交換器薄片生產常用的材料。由于玻璃化學性質穩定，且有良好的生物兼容性，微反應器也有利于觀察內部反應，因此玻璃在微反應器中經常被作為基底材料；陶瓷由于化學性能穩定、耐腐蝕能力強、熔點高、在高溫下仍能保持尺寸穩定，因而在微反應器中常用于高溫和強腐蝕的場合，其缺點是耗時長，價格昂貴?；诖?，本文提出了一種利用快速成型技術和注塑模具技術，實現快速、準確的陶瓷微反應器的制作，并成功制備了具有亞毫米級內部特征尺寸的陶瓷微反應器。塑料、聚合物等其他材料在光刻電鍍和壓模成形等工藝出現以后，也在微反應器中得到了越來越廣泛的應用。