近幾十年來，由于慣性微流體的高吞吐量、易于制造且不需要外力，人們對慣性微流體產生了濃厚的興趣。慣性微流控系統的聚焦效率完全取決于微通道的幾何特征，因為流體動力（慣性升力和迪恩阻力）是慣性微流控器件的主要驅動力。在過去的幾年中，人們提出了新的微通道結構來提高粒子調控效率。然而，這些非常規結構的制造仍然是一個嚴峻的挑戰。盡管研究人員推動了微納加工技術的前沿發展，但用于慣性微流控的制造技術尚未得到全面討論。本文介紹了用于創建慣性微通道的微納加工方法，包括光刻、Xurography、激光切割、微加工、微線技術、蝕刻、熱壓花、3D打印和注塑成型。還討論了這些方法的優缺點。然后，從分辨率、結構、成本和材料方面回顧了這些技術。本文對慣性微通道的制造方法進行了深入的探討，有助于未來通過選擇合適的制造技術來提高收獲產量和分辨率。

在用于粒子操作的被動微流控方法中，慣性微流控因其簡單、易于制造和高通量而被認為是一種有利的過濾和分離方法。雖然大多數微流體系統在低雷諾數（斯托克斯狀態）下運行，但慣性系統在雷諾數 （Re） 的中間范圍內運行，介于斯托克斯和湍流狀態之間，從而顯著提高吞吐量。

慣性聚焦的機制取決于慣性升力和粘性阻力之間的平衡。慣性升力主要可分為兩類：由懸浮粒子與相鄰壁相互作用產生的壁感應升力，以及由速度剖面表現出的拋物線曲率引起的剪切梯度升力。剪切梯度力將顆粒引向壁面，而壁面抬升力將顆粒推離壁面。先前的研究證明，阻塞率（定義為顆粒直徑與通道水力直徑之比）必須超過閾值 0.07 才能有效聚焦顆粒。隨著堵塞率的降低，粒子聚焦的有效性會下降。因此，通道尺寸的精度對于實現有效的顆粒聚焦起著至關重要的作用。

慣性微流控器件具有不同的構型，包括直線通道、收縮-膨脹通道和彎曲通道。總體而言，粒子聚焦帶的數量可以通過橫截面和微通道幾何形狀的變化來修改。在縱橫比 （AR） = 1 的方形通道中，在通道邊緣中心附近觀察到四個平衡位置。用矩形 （AR ? 1） 替換橫截面可將平衡位置的數量減少到兩條線。將橫截面從方形或矩形修改為梯形會導致通道內速度分布的改變，從而影響剪切梯度升力。梯形橫截面內速度分布的不對稱性導致最大速度中心向梯形較長的一側位移，從而將粒子聚焦引向較長的側壁。此外，當將橫截面改變為三角形時，粒子聚焦流的數量減少到一個;盡管如此，這一結果在很大程度上取決于通道的縱橫比。例如，Kim等人研究了兩種類型的三角形微通道（窄三角形通道和寬三角形通道），并觀察到三個聚焦帶。Mukherjee等人還研究了低縱橫比三角形橫截面對粒子聚焦的影響。他們觀察到，單流粒子聚焦在通道高度的40%的位置。還進行了大量的數值研究，以說明通道的幾何形狀對粒子聚焦的影響。此外，更復雜的幾何形狀，如螺旋或收縮膨脹陣列，將減少顆粒聚焦位置的數量，并由于施加在顆粒上的二次流動和迪恩阻力而形成緊密的聚焦帶。

圖1 慣性微流控器件的微制造方法發展歷程

傳統的慣性微納加工方法包括光刻、微加工、3D打印、熱壓花、微線、蝕刻和激光切割。這些方法中的每一種都非常適用于特定的幾何形狀和用途，因為它們具有獨特的特性，例如分辨率和表面質量。例如，高表面粗糙度會影響微器件內的速度分布并增加湍流效應。因此，在慣性微流體中，高表面分辨率至關重要，因為湍流越大，流動擾動就越大。

除了幾何形狀之外，由于慣性微流體技術在醫學和生物應用中的使用，材料選擇在微納加工方法中起著重要作用。材料選擇的一個關鍵因素是生物相容性。例如，疏水性材料吸收藥物和生物分子，或在與有機材料直接接觸時膨脹。此外，透明度、可用性、成本效益和無毒等其他因素在材料選擇中也很重要。

在這項研究中，首次回顧了慣性微流控中的常規制造方法。這篇綜述提供了有關影響微通道表面質量的參數的全面信息，以增強高通量下的顆粒聚焦。首先，簡要介紹了慣性微流控的物理原理以及制造慣性微流控器件的常用材料。然后，解釋了慣性微納加工方法及其優缺點，包括表面質量、成本和制造非常規截面的能力。隨后，根據不同的標準對這些方法進行了比較，最后，闡述了慣性微流控器件的前景及其創新成果。

總體而言，雖然光刻和刻蝕可以制造分辨率為幾微米的2D結構，但是這兩種方法都需要復雜的設備和潔凈室設施，這增加了最終的生產成本。此外，光刻只能得到正交特征。然而，對于需要尺寸在幾微米范圍內的通道的基于尺寸的分選應用而言，與其它制造方法相比，這兩種方法仍然具有優越性。

圖2 利用光刻法制造掩模的示意圖

相比之下，xurography、微線埋入和熱壓印技術具有成本效益，但是這些方法分辨率較低，無法建立尺寸在幾微米范圍內的通道。對于制造具有圓形截面的微通道而言，微線埋入是一種成本低、操作簡單的方法。然而，由于該技術的局限性，它只適用于直線和3D螺旋微通道的制造。對于平面結構的批量生產，熱壓印和注塑成型是最好的選擇。

圖3 （a）xurography技術示意圖；（b）微加工技術示意圖；（c）基于注塑成型的多層螺旋微流控器件示意圖；（d）熱壓印技術示意圖；（e）模具制造示意圖；（f）微線埋入技術示意圖

飛秒激光燒蝕、微加工和3D打印是制造復雜非平面結構的理想選擇。飛秒激光燒蝕方法便于在玻璃內部制造矩形3D結構，而不需要鍵合。對于更復雜的結構，微加工和3D打印引起了極大的關注。雖然微加工技術只能用于構建母模，但3D打印可以同時用于構建母模和具有非常規結構的微型器件。

圖4 （a）二氧化碳（CO?）和紫外（UV）激光燒蝕技術示意圖；（b）飛秒激光燒蝕技術示意圖；（c）最終制造的微通道和母模光學圖像；（d）利用CO?激光燒蝕技術制造的三角形、梯形和高縱橫比矩形截面的掃描電子顯微鏡（SEM）圖像；（e）利用飛秒激光燒蝕技術制造的3D慣性微流控通道示意圖

圖5 （a）立體光固化成型（SLA）3D打印技術示意圖；（b）數字光處理（DLP）3D打印技術示意圖；（c）利用SLA 3D打印技術制造的3D螺旋微通道光學圖像和利用SLA/DLP 3D打印技術制造的微通道橫截面圖；（d）熔融沉積成型（FDM）3D打印技術示意圖；（e）多射流（MJ）3D打印技術示意圖；（f）利用MJ 3D打印技術制造的微通道圖像及其橫截面

對于工業制造而言，利用注塑成型技術能夠以很高的精準度快速地生產大量具有良好一致性的零件，并且該技術適用于各種材料。然而，該技術也有缺點，例如高昂的模具生產成本，有限的設計靈活性，以及最終所獲得零件的表面缺陷性。

綜上所述，在所有慣性微流控器件的微制造技術中，3D打印是制造復雜母模和微通道的一種經濟且快速的方法。3D打印的主要優點是能夠制造具有任意橫截面的非常規結構。然而，每一種制造技術都有自己的優點和缺點，技術的選擇最終應取決于諸如期望的生產量、器件的復雜性、材料特性和成本等多重因素。

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