一、什么是等離子清洗機

等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，在真空腔體里，通過射頻電源在一定的壓力情況下產生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面以達到清洗目的。

二、等離子清洗機作用：

　　1.激活鍵能，交聯作用

　　等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學鍵產生斷裂，等離子體中的自由基與這些鍵形成網狀的交聯結構，大大地激活了表面活性。

　　2.對材料表面的刻蝕作用--物理作用

　　 等離子清洗機中的大量離子、激發態分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質，而且會產生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

　　3.形成新的官能團--化學作用

如果放電氣體中引入反應性氣體，那么在活化的材料表面會發生復雜的化學反應，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性。

三、等離子清洗機結構：

等離子清洗機的結構主要分為三個大的部分組成，分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。汶顥等離子清洗機可應用于微流控芯片鍵合、電子行業的手機殼印刷、涂覆、點膠等前處理，手機屏幕的表面處理；國防工業的航空航天電連接器表面清洗；通用行業的絲網印刷、轉移印刷前處理等。