一、硅片模具出廠前已進(jìn)行揮發(fā)處理。

二、硅片模具使用須在無塵環(huán)境下進(jìn)行。

三、使用鏟型鑷子夾取為佳，避免模具邊緣臟污，影響外觀。

四、注意硅片任何操作下都需要要輕拿輕放，防止意外碎裂。

五、模具澆注PDMS前確認(rèn)模具表面是否清潔，芯片結(jié)構(gòu)是否完好。

六、模具不可使用有機(jī)溶劑清洗。

七、如硅片表面臟污，影響澆注；可用無塵布蘸取丙酮或乙醇小心進(jìn)行擦拭，防止損壞；注意不可接觸光刻膠圖形。

八、PDMS混合時，需混合均勻且脫氣之后再進(jìn)行澆筑。

九、澆注PDMS時，盡量使硅片模具底面與澆注皿貼合較好，水平居中為佳。

十、PDMS澆注完，靜置，待PDMS中氣泡消失后再放入烘箱，保證水平；若靜置后仍有氣泡，可用針頭小心挑去，避免劃傷通道。

十一、PDMS完全成型后，取出，待冷卻后再進(jìn)行PDMS-模具分離，注意力度控制，小心剝離，剝離時，模具面保持清潔，不留指紋。

十二、模具使用完，將硅片模具放入硅片暫存盒內(nèi)；保持清潔，不落灰塵。